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晶圓生產(chǎn)完成后，需要對(duì)其進(jìn)行各種參數(shù)的檢測(cè)，在檢測(cè)的過(guò)程中，需要在不同溫度下進(jìn)行測(cè)試，晶圓測(cè)試用溫控設(shè)備（晶圓測(cè)試溫控系統(tǒng)）是高精度，高分辨率，高穩(wěn)定性的控制設(shè)備。

高低溫循環(huán)溫控系統(tǒng)，高低溫循環(huán)系統(tǒng)主要由加熱循環(huán)系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、箱體等組成。加熱循環(huán)系統(tǒng)包括循環(huán)泵、電加熱器、膨脹容器、排氣閥、單向閥、熱電阻、循環(huán)管道等組成。

高低溫冷卻液測(cè)試機(jī)具有熱力學(xué)溫度控制系統(tǒng)，一系列功能滿足不同的應(yīng)用要求，帶有彩色觸摸屏，簡(jiǎn)潔的導(dǎo)航菜單，重要參數(shù)一目了然，以圖線方式顯示實(shí)時(shí)的溫度變化，配有泵技術(shù)，優(yōu)化熱傳遞。

反應(yīng)釜溫度控制系統(tǒng)(反應(yīng)釜溫控系統(tǒng))采用磁耦合高溫循環(huán)泵，杜絕系統(tǒng)泄漏風(fēng)險(xiǎn)、密封好，流速大，確保設(shè)備能更快為外部系統(tǒng)換熱。配備人性化7英寸真彩LCD觸摸屏，良好的人機(jī)交互界面，直觀顯示本機(jī)參數(shù)及外部控溫參數(shù)。

半導(dǎo)體溫控系統(tǒng)是一種采用半導(dǎo)體材料作為溫度傳感器的溫控系統(tǒng)。與傳統(tǒng)的熱電偶、熱敏電阻等溫度傳感器相比，半導(dǎo)體材料具有更高的靈敏度、更快的響應(yīng)時(shí)間和更穩(wěn)定的性能。

晶圓生產(chǎn)完成后，需要對(duì)其進(jìn)行各種參數(shù)的檢測(cè)，在檢測(cè)的過(guò)程中，需要在不同溫度下進(jìn)行測(cè)試，晶圓測(cè)試用溫控設(shè)備（晶圓測(cè)試溫控系統(tǒng)）是高精度，高分辨率，高穩(wěn)定性的控制設(shè)備。

高低溫冷卻液測(cè)試機(jī)具有熱力學(xué)溫度控制系統(tǒng)，一系列功能滿足不同的應(yīng)用要求，帶有彩色觸摸屏，簡(jiǎn)潔的導(dǎo)航菜單，重要參數(shù)一目了然，以圖線方式顯示實(shí)時(shí)的溫度變化，配有先進(jìn)的泵技術(shù)，優(yōu)化熱傳遞。